電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種廣泛應(yīng)用于地球科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、生命科學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域的分析儀器。它結(jié)合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質(zhì)譜檢測器，能夠同時測定多種元素的含量和同位素組成。具有許多優(yōu)點(diǎn)，如高的檢測限、高的選擇性、準(zhǔn)確性和可靠性。此外，它還可以同時測定多個元素和同位素，其檢測范圍從質(zhì)量數(shù)1到300不等。因此，已成為許多應(yīng)用領(lǐng)域關(guān)鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環(huán)境污染、生命科學(xué)和材料科學(xué)等。
工作原理是將待測樣品轉(zhuǎn)化為氣態(tài)離子，然后經(jīng)過選擇性分離和檢測。首先，樣品通過噴霧裝置進(jìn)入ICP源，其中包含高溫和穩(wěn)定的等離子體，使樣品中的原子被激發(fā)和電離。接著，離子在通過四極桿或磁場篩選器進(jìn)行分離和聚焦，最終到達(dá)質(zhì)譜檢測器進(jìn)行檢測。
1、電感耦合等離子體源：這是ICP-MS的核心部件，用于產(chǎn)生高溫等離子體。在這個等離子體中，樣品中的原子和分子被離子化，以便后續(xù)的分析。
2、質(zhì)譜儀：ICP-MS中常用的質(zhì)譜儀是四級桿質(zhì)譜儀。在質(zhì)譜儀中，離子根據(jù)其質(zhì)荷比（m/z）比例被分離和檢測，從而確定其種類和濃度。
3、接口：接口連接ICP源和質(zhì)譜儀，將離子從等離子體傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀中進(jìn)行分析。
4、離子透鏡：用于聚焦和傳輸離子束，以確保離子能夠進(jìn)入質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析。
5、檢測器：用于檢測和記錄質(zhì)譜儀中分離出的離子，生成質(zhì)譜圖譜。
6、數(shù)據(jù)系統(tǒng)：用于控制儀器操作、數(shù)據(jù)采集和分析，以及結(jié)果的展示和存儲。
以上是ICP-MS的基本結(jié)構(gòu)組成部分，每個部分在儀器的正常運(yùn)行中起著關(guān)鍵作用，確保儀器的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
